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发明名称 METHODS FOR MINIMIZING AS-DEPOSITED STRESS IN TUNGSTEN SILICIDE FILMS
摘要
申请公布号 EP0960435(B1) 申请公布日期 2007.11.07
申请号 EP19970950662 申请日期 1997.11.24
申请人 GENUS, INC. 发明人 KANG, SEIN, G.;ADACHI, JOHN, Y.;BADT, DAVID;SILL, EDWARD, L.
分类号 H01L21/44;C23C16/00;C23C16/42;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L21/44
代理机构 代理人
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