微粒子沉积装置、微粒子沉积方法及发光元件的制造方法

摘要

本发明公开了一种微粒子沉积装置及微粒子沉积方法。目的是提供一种无杂质混入(均质)地仅沉积所希望尺寸的微粒子的微粒子沉积物。微粒子在溶剂中分散形成的溶液以微细液滴流从毛细管前端喷出，且使被喷出的微细液滴带电。该液滴流通过喷嘴导入减压室内成为自由喷流。将在减压室内行进的自由喷流，通过设置在维持高真空的成膜室的分离器喷嘴导入到内部成为带电微粒子流。接着，通过能量分离装置，仅选择带电微粒子流中的微粒子里具有特定能量的微粒子，并沉积到设置在内部的被沉积体上。

主权项

1.一种微粒子沉积装置，将微粒子在溶剂中分散形成的溶液用于原料在被沉积体上沉积所述微粒子，其特征在于，包括：溶液供给装置，其供给所述原料；带电装置，其使所述原料带电；减压室，其具有用于使内部成为减压环境的排气口，能将从所述溶液供给装置喷出的原料通过喷嘴导入内部；成膜室，其具有用于使内部成为比所述减压室高的真空度的排气口，从所述减压室内排出的原料能通过分离器喷嘴导入内部，且仅从该原料中选择具有特定质量电荷比的微粒子，沉积到设置在内部的被沉积体上。