成膜装置的时效处理方法

摘要

课题提供可减低微粒的成膜装置的时效处理方法。解决手段进行附着于处理容器内壁的膜的电浆洗净之后(步骤S1)，堆积非晶矽膜(步骤S2)，于其上面，堆积朝厚度方向渐增氮含有量的氮化矽膜(步骤S3)，一直到开始对于基板的成膜为止，以稀有气体的电浆来维持处理容器内(步骤S4)。