| 摘要 |
基板处理装置(1)具备有：作为二流体喷嘴之吐出部(3)，朝向基板(9)吐出洗净液之液滴；洗净液供给部(4)，将洗净液导引到吐出部(3)；和圆环状之感应电极(6)，被配置在吐出部(3)之吐出口(31)之附近。吐出部(3)内之洗净液管和洗净液供给部(4)由玻璃状碳形成，经由连接到洗净液供给部(4)之导电线(82)而接地。感应电极(6)连接到电源(81)，藉由使作为导电性之接液部的洗净液供给部(4)及洗净液管与感应电极(6)之间被赋予电位差，可对吐出口(31)之附近之洗净液感应电荷。在基板处理装置(1)中，利用感应出之与洗净后之基板电位相反极性之电荷的洗净液之液滴，洗净基板(9)，藉此可以抑制洗净中和洗净后之基板(9)之带电。 |
