| 摘要 |
揭示一用于产生EUV光线之方法，该方法可包含以下动作/步骤：提供一原材料；产生复数原材料点滴；以第一光线脉冲同时照射复数原材料点滴，以建立经照射之原材料；及此后将该经照射之原材料暴露至第二光线脉冲，以产生EUV光线、例如藉着产生该原材料之电浆。于另一态样中，一EUV光源可包含一点滴产生器，其将复数原材料点滴传送至一目标区域；第一光线脉冲之来源，用于在该目标区域中同时照射复数点滴，以产生一经照射之原材料；及第二光线脉冲之来源，用于暴露该经照射之原材料，以产生EUV光线。该点滴产生器可包含一非调节式点滴产生器，及可包含一多孔口喷嘴。 |
