搬运装置

摘要

本发明系提供一种由前端具备晶圆W的吸附手臂14之多关节型机械手臂所构成的搬运装置10，该搬运装置10系以保持前述晶圆W时的重量，阻挠吸附手臂14，而使晶圆W下垂时，为消除该下垂，而调整吸附手臂14的角度，将晶圆W保持在略水平姿势而构成。晶圆W的下垂量系依据第1及第2的测长器40、41的测长而求出。