发明名称 具纹理接触表面的动力连接器
摘要 一种用于一基板托架之基板动力连接器或导板,其在接触点上具有纹理或图案之表面,以降低自动处理设备及动力连接之间的摩擦力。此具有纹理之表面会降低处理设备及动力连接器之接触部间的接触面积,以降低所产生之摩擦力。藉由降低此摩擦力,基板托架可更容易地固定于处理设备之固定销上,以避免在自动取出基板时产生无法接受之高度及角度的偏移。此纹理包含,但不限于一压花图案、沿着接触部横向排列之凸脊,以及沿着接触部纵向排列之凸脊。此纹理可藉由吹塑、射出成型或重复注塑成型、机械加工或压印制程而形成。
申请公布号 TW200741940 申请公布日期 2007.11.01
申请号 TW096102738 申请日期 2007.01.24
申请人 安堤格里斯公司 发明人 约翰 伯恩思;马丁L 佛比斯;马修A 富勒;杰福瑞J 金;马克V 史密斯
分类号 H01L21/673(2006.01) 主分类号 H01L21/673(2006.01)
代理机构 代理人 陈翠华
主权项
地址 美国