| 摘要 |
本发明系以提供一种瑕疵检查装置及瑕疵检查方法，可提高检查区域端部之瑕疵检查的精度，作为课题。在解决手段上，光源1A, 1B，相互以照射区域(检查区域)之端部形成叠合的方式，使照射光LA1,LB1个别作照射。摄影装置2接受正反射光LA2,LB2并产生个别对应于光源1A,1B的2个画像。主控制部3将2个画像作合成并判定瑕疵的有无。藉由照射光LA1,LB1从互异的方向对被检查面A作照射，在各画像中表示瑕疵区域之位置会有些微的偏离。因而，在各画像中即使表示瑕疵区域的面积很小，藉由将2个画像作叠合，在合成后的画像中表示该瑕疵部位区域的面积即会变大。经由此，可以提高检查区域端部之瑕疵检测的精度。 |
