叠合测量方法以及使用此方法之叠合测量装置

摘要

一种叠合测量装置包括：光源，其产生具有多个波长之可见光；光学模组，其自由光源所产生之可见光选择具有单一波长之可见光、使具有单一波长之可见光入射至多个叠合图案上且使用自多个叠合图案所反射之可见光以预定色彩来投影叠合图案；成像单元，其根据可见光之个别波长获取多个叠合图案之影像且获取相应影像信号；以及控制单元，其将控制信号输出至光学模组使得光学模组可使用与用于投影由选择单元所选择之叠合图案影像之可见光的个别波长相关联的资讯以特定色彩来投影叠合图案。