光谱滤波器修理

摘要

本发明揭示一种用于修理一光谱滤波器的方法，电磁辐射从装载一辐射源的一反应室穿过该光谱滤波器至一微影工具，其中周期性地供应用于在该滤波器上形成碳质材料的碳之来源给该反应室，以至少减小在使用该工具期间生长于该滤波器中的洞孔之大小。在一较佳具体实施例中，该方法包括下列步骤：侦测透过该等洞孔从该反应室的气体泄漏；并根据穿过该滤波器的气体量而供应该碳来源给该反应室。