测试电性受测件用的电性接触装置和电性测试设备

摘要

本发明有关一电性受测件用的电性接触装置(3)，包含用于与该受测件造成电性轻碰接触之测试接触件(7)、及包含一可被指定为用于将该接触装置(3)固持于一测试机(2)(探针器)中之中介零组件(30)的支撑装置(14)。倘若用于一永久模组化单元(32)之具体实施例，该支撑装置(14)系连接至一仅只与此接触装置(3)相联之专用中介零组件(30)。本发明再者有关一包含电性接触装置(3)之电性测试设备(1)。