具最佳效能之压力控制系统

摘要

一种用以控制腔室中流体压力之压力控制系统，包含一压力感测器，其经组态以量测腔室中流体之压力，及一阀，其经组态以藉由调整来自腔室之流体的流动来控制腔室中之流体压力。此压力控制系统更包含一控制器，此控制器经组态以估计腔室之容积，并用以产生阀的一泵速率曲线。控制器进一步经组态以监视并修改泵速率曲线，以便维持泵速率曲线之斜率于至少一最小数值，并依据该压力感测器所测得之压力量测值，而使用该经修改之泵速率曲线来调整该阀之位置，以维持该腔室中该流体之压力于一所需之压力设定点。