检测元件偏心的方法及系统

摘要

本案涉及以非接触方式来检测元件的表面几何偏心的方法及其系统，其中所使用的检测方法乃为利用数位取像镜头撷取沿着轴向改变刀口缘所造成的切割像点视场的明暗阴影图，再由影像处理单元进行每个像素灰度分布计算，进而藉由数值拟合出受测元件的几何中心，最后在经由比较与计算而获得偏心误差。