发明名称 支撑板的剥离方法
摘要 课题提供不必使用溶剂就可剥离支撑板的方法。解决手段下降昇降体2,令紫外线灯22位于支撑板11的正上方,在此状态下进行点灯,经由支撑板11俾将紫外线到达光触媒层13。于是,光触媒被激励,发生电子,与O2反应成为O2-,此O2-与有机物(黏接剂)反应而发生气体(H2O,CO2等),此气体扩展至光触媒层13与黏接剂12之间,成为从基板W简单地可剥离支撑板11。
申请公布号 TW200741845 申请公布日期 2007.11.01
申请号 TW096107688 申请日期 2007.03.06
申请人 东京应化工业股份有限公司 发明人 稻尾吉浩;宫成淳
分类号 H01L21/304(2006.01) 主分类号 H01L21/304(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本