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发明名称
支撑板的剥离方法
摘要
课题提供不必使用溶剂就可剥离支撑板的方法。解决手段下降昇降体2,令紫外线灯22位于支撑板11的正上方,在此状态下进行点灯,经由支撑板11俾将紫外线到达光触媒层13。于是,光触媒被激励,发生电子,与O2反应成为O2-,此O2-与有机物(黏接剂)反应而发生气体(H2O,CO2等),此气体扩展至光触媒层13与黏接剂12之间,成为从基板W简单地可剥离支撑板11。
申请公布号
TW200741845
申请公布日期
2007.11.01
申请号
TW096107688
申请日期
2007.03.06
申请人
东京应化工业股份有限公司
发明人
稻尾吉浩;宫成淳
分类号
H01L21/304(2006.01)
主分类号
H01L21/304(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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