| 主权项 |
1.一种固体摄像元件,其特征为在基板内具备: 复数个光电变换区域,其系用于把入射光进行光电 变换者;读出闸极,其系用于从前述光电变换区域 把信号电荷进行读出者;及传送暂存器,其系用于 把藉由前述读出闸极所读出之前述信号电荷进行 传送者; 在前述基板之表面侧系形成有沟; 在前述沟之底部系形成有前述传送暂存器及前述 读出闸极; 前述固体摄像元件系具备电极,而该电极系用于对 前述读出闸极及前述传送暂存器施加电压者。 2.如请求项1之固体摄像元件,其中 前述电极之在前述传送暂存器方向所形成的部分 系形成于前述沟内。 3.如请求项2之固体摄像元件,其中 用于把前述光电变换区域作个别分离之像素分离 区域,系形成于前述基板内之前述沟之下部。 4.如请求项1之固体摄像元件,其中 以至少填埋前述电极及前述沟之侧壁之间之方式, 形成遮光膜。 5.如请求项3之固体摄像元件,其中 前述电极之在前述传送暂存器方向所形成的部分 系形成于:前述沟内之前述像素分离区域之至少一 部分上、前述传送暂存器上及前述读出闸极上。 6.如请求项3之固体摄像元件,其中 前述电极之在前述传送暂存器方向所形成的部分, 系形成于前述沟内之前述像素分离区域之至少一 部分上、前述传送暂存器上及前述读出闸极之一 部分上。 7.如请求项1之固体摄像元件,其中 前述沟之侧壁系以倾斜面形成。 8.如请求项7之固体摄像元件,其中 前述倾斜面之基板系以p型层形成。 9.如请求项4之固体摄像元件,其中 前述遮光膜系被施加脉冲电压。 10.如请求项4之固体摄像元件,其中 前述遮光膜系被施加直流电压。 11.如请求项1之固体摄像元件,其中 前述读出闸极系形成于:从前述沟之底部之前述基 板,包含前述沟之一方侧之侧壁部之前述基板,直 到该侧壁部之上部之前述基板。 12.如请求项1之固体摄像元件,其中 前述沟系形成栅状。 13.如请求项1之固体摄像元件,其中 前述沟系形成复数个阶。 14.如请求项13之固体摄像元件,其中 前述沟系形成2阶; 前述沟之第一阶之侧壁部系包含于前述读出闸极; 前述沟之第二阶之侧壁部之至少其一部分系包含 于前述传送暂存器。 15.一种固体摄像元件之制造方法,其特征系在于: 该固体摄像元件在基板内系具备:像素分离区域, 其系用于把复数个像素区域作个别分离者;复数个 光电变换区域,其系用于把入射光进行光电变换者 ;读出闸极,其系用于从前述光电变换区域把信号 电荷进行读出者;及传送暂存器,其系用于把藉由 前述读出闸极所读出之前述信号电荷进行传送者; 在前述基板上形成沟后,具备如下工序: 在前述沟之底部,形成前述像素分离区域、前述传 送暂存器及前述读出闸极;及 在前述沟内形成电极。 16.如请求项15之固体摄像元件之制造方法,其中 在形成前述电极后,具备如下工序:介以前述层间 绝缘膜,以填埋于前述电极与前述沟侧壁之间之方 式,形成前述遮光膜。 17.如请求项15之固体摄像元件之制造方法,其中 前述沟系形成栅状。 18.如请求项15之固体摄像元件之制造方法,其中 前述沟系形成复数个阶。 19.如请求项15之固体摄像元件之制造方法,其中 前述沟系藉由把前述基板直接蚀刻所形成者。 20.如请求项15之固体摄像元件之制造方法,其中 前述沟系藉由把前述基板作局部氧化,形成局部氧 化膜后,将前述局部氧化膜除去所形成者。 21.一种固体摄像装置,其系具备: 固体摄像元件,其系具备:复数个光电变换区域,其 系用于把入射光进行光电变换者;读出闸极,其系 用于从前述光电变换区域把信号电荷进行读出者; 及传送暂存器,其系用于把藉由前述读出闸极所读 出之前述信号电荷进行传送者;及 光学系,其系用于朝前述固体摄像元件导入入射光 者; 前述固体摄像元件系在前述基板之表面侧具有沟; 在前述沟之底部系形成有前述传送暂存器及前述 读出闸极; 前述固体摄像元件系具备电极,而该电极系用于对 前述读出闸极及前述传送暂存器施加电压者。 图式简单说明: 图1系与本发明之固体摄像装置有关之第一实施例 之图。(1)系平面布局图;(2)系平面布局图中之A-A线 剖面之概略结构剖面图。 图2系与本发明之固体摄像装置有关之第二实施例 之概略结构剖面图。 图3系与本发明之固体摄像装置有关之第三实施例 之概略结构剖面图。 图4系用于说明沟之侧面(倾斜面)之功效之概略结 构剖面图。 图5系与本发明之固体摄像装置有关之第四实施例 之平面布局图。 图6(1)~(3)系与本发明之固体摄像装置有关之第四 实施例之图;图5之平面布局图中之B-B线剖面之概 略结构剖面图。 图7系垂直传送方向上之光电变换区域间中之先前 结构之概略结构剖面图。 图8系与本发明之固体摄像装置有关之第五实施例 之概略结构剖面图。 图9系第一实施例之固体摄像元件及第五实施例之 固体摄像元件之电位之曲线图。 图10系与本发明之固体摄像装置有关之第六实施 例之概略结构剖面图。 图11系与本发明之固体摄像装置有关之第七实施 例之概略结构剖面图。 图12(1)~(7)系与本发明之固体摄像装置之制造方法 有关之第一实施例之制造工序剖面图。 图13(1)~(3)系与本发明之固体摄像装置之制造方法 有关之第二实施例之制造工序剖面图。 图14(1)~(6)系与本发明之固体摄像装置之制造方法 有关之第三实施例之制造工序剖面图。 图15(1)~(6)系与本发明之固体摄像装置之制造方法 有关之第三实施例之制造工序剖面图。 图16系先前之交错型固体摄像元件之图。(1)系布 局图;(2)系布局图中之A-A线剖面之概略结构剖面图 。 图17系适用于本发明之固体摄像装置之例之布局 图。 |
