| 主权项 |
1.一种湿度感测器,其包括: 一基板; 至少二长形电极,其系分别形成于该基板上,每一 长形电极各含有一第一端及第二端; 至少一对梳形电极,系分别与该至少二长形电极的 第一端接触;以及 一湿度感测膜,系含一聚苯乙烯磺酸钠(Sodium Po1 ystyrenesu1fonate;NaPSS),且形成于该至少一对梳形电极 上,且不与该至少二长形电极的第二端接触。 2.如申请专利范围第1项所述之湿度感测器,其中该 基板为一陶瓷基板。 3.如申请专利范围第1项所述之湿度感测器,其中该 至少二长形电极系为银电极。 4.如申请专利范围第1项所述之湿度感测器,其中该 至少二长形电极的第二端系为银电极焊锡处。 5.如申请专利范围第1项所述之湿度感测器,其中该 梳形电极系为含碳胶之电极。 6.如申请专利范围第1项所述之湿度感测器,其中该 梳形电极系为四对梳形电极。 7.一种湿度感测器之制造方法,其步骤包括: (a)提供一含至少二长形电极之基板,该至少二长形 电极各含有一第一端及第二端; (b)于该基板上形成至少一对相间但不相接触之梳 形电极,且该梳形电极系分别与该基板上之至少二 长形电极的第一端接触;以及 (c)将该梳形电极浸泡于一湿度感测材料溶液中形 成一湿度感测膜,其中,该湿度感测材料系含一聚 苯乙烯磺酸钠(Sodium Polystyrenesulfonate;NaPSS)。 8.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该步 骤(a)中之该基板系为一陶瓷基板。 9.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该长 形电极系为银电极。 10.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该 至少二长形电极的第二端系为银电极焊锡处。 11.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该 梳形电极系为含碳胶之电极。 12.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该 梳形电极系为四对梳形电极。 13.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中该 步骤(b)系以网版印刷之方式形成。 14.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中于 该步骤(b)完成后,该步骤(c)进行前,更包括一步骤(b 1),将该基板烘乾。 15.如申请专利范围第7项所述之制造方法,其中于 该步骤(c)完成后,更包括一步骤(c1),将该基板烘乾 。 图式简单说明: 图1系本发明实施例1之制备结构平面图。 图2系本发明之电阻値与相对湿度测试结果图。 |
