盐

摘要

本发明系提供一种盐，其与具有作为光阻剂主成分之酸解离基的聚合物并无相溶性不良之问题点，且具有作为光酸产生剂(photoacid generator：PAG)之机能。该盐系以下述式(1)表示：(式(1)中，R1表示碳原子数2至9之直链或分枝之2价烃基；R2至R5各自独立地表示氢原子或碳原子数1至3之直链或分枝之烃基；R6及R7各自独立地表示有机基；R6及R7可一起形成2价之有机基。X-表示阴离子)