电浆处理装置

摘要

电浆处理装置具备：真空处理容器(34)；以及配设于该容器内，用以载置被处理体(W)之载置台(36)。处理容器(34)具有：形成着上部开口之筒状之容器本体(34A)、以及气密地装设于该本体之上部开口之可透过电磁波之电介质制之天板(50)。具备可经由天板将电浆发生用之电磁波供给容器内之电磁波供给系(54)；以及对容器内供给含有处理气体在内之气体之气体供给系(110)。于天板(50)，形成将气体供给系所供给之气体对容器内喷出之气体喷射孔(108)。于各喷射孔(108)内，配置着具有通气性之电介质制之放电防止构件(120)。