照明光学装置、投影曝光装置、投影光学系统以及元件制造方法

摘要

一种投影曝光装置的照明光学装置IU，该投影曝光装置将倍缩光罩R的图案投影及曝光至晶圆W。照明光学装置IU包括次级中继光学系统22及光路合并镜21。次级中继光学系统22用于在光源10及倍缩光罩R之间形成与倍缩光罩R光学共轭的平面62；光路合并镜21用于合并来自曝光光源10的第一光束IL1及第二光束TL2，使得它们在相互接近的情况下照明倍缩光罩表面；其中光路合并镜21包括反射面21a及21b，用于分别反射曝光光束IL1及IL2，反射面21a及21b之间的边界的脊线21c位于平面62上或靠面62。