提供剩余应力测试结构之系统及方法

摘要

本发明包含决定例如发现于干涉调变器中之剩余应力的系统及方法。于一项范例中，可配置一测试单元以藉由干涉调变可指示于该基板之二正交方向上之平均剩余应力的光来指示一薄膜中之剩余应力。该测试单元可包括：一反射膜，其附着至该基板，其中膜系配置成每一侧之至少一部分附着至该基板的平行四边形；以及一干涉腔，其于该膜之一部分与该基板之一部分间形成，且其中该膜系经配置以根据该薄膜中之剩余应力而变形并调变可指示膜变形量的光。