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发明名称
于基板上形成强化互连之方法
摘要
本发明揭示一种在基板上形成强化互连或凸块的方法,其包括首先于基板上形成一支撑结构。然后在支撑结构周围形成一实质填满的封套,以构成一互连。该互连之高度可达300微米。
申请公布号
TW200741923
申请公布日期
2007.11.01
申请号
TW096107702
申请日期
2007.03.06
申请人
飞思卡尔半导体公司
发明人
萧喜铭;周安乐;黎戈;叶兴强;郑通庆;陈兰珠
分类号
H01L21/60(2006.01);H01L23/49(2006.01)
主分类号
H01L21/60(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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