发明名称 于基板上形成强化互连之方法
摘要 本发明揭示一种在基板上形成强化互连或凸块的方法,其包括首先于基板上形成一支撑结构。然后在支撑结构周围形成一实质填满的封套,以构成一互连。该互连之高度可达300微米。
申请公布号 TW200741923 申请公布日期 2007.11.01
申请号 TW096107702 申请日期 2007.03.06
申请人 飞思卡尔半导体公司 发明人 萧喜铭;周安乐;黎戈;叶兴强;郑通庆;陈兰珠
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L23/49(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国