发明名称 接合装置及接合装置之电路基板吸附方法
摘要 提供一种接合装置,以简便的构成,将弯曲之大电路基板吸附于吸附载台。该接合装置具备:可伸缩之真空吸引垫16,配设成使真空吸引垫18的吸引口18a从吸附载台10的基板吸附面15突出,用以真空吸附弯曲之电路基板12的部区域,且利用与大气压的压力差压缩该真空吸引垫18,俾真空吸引该电路基板12;及压板32,配设成可开闭,用以将该电路基板12的周边区域紧压于该基板吸附面15的两缘部而抵接于该真空吸引垫16的伸缩部之吸引口18a;藉由压板32使该电路基板12抵接于吸引口18a,然后以该真空吸引垫16吸引电路基板12。
申请公布号 TW200741917 申请公布日期 2007.11.01
申请号 TW096102636 申请日期 2007.01.24
申请人 新川股份有限公司 发明人 佐藤安;藤野昇;佐佐木真一
分类号 H01L21/60(2006.01);H01L21/52(2006.01);H01L21/50(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒;阎启泰
主权项
地址 日本