涂布装置及涂布方法

摘要

涂布装置系具备有台架(stage)、喷嘴及局部环境气体生成机构。台架系将基板载置于其上面。喷嘴系在台架上之空间中，由其前端部吐出涂布液。局部环境气体生成机构系针对喷嘴吐出涂布液之空间及包含涂布有涂布液之基板之涂布部位的涂布空间进行局部性供应指定气体，在指定环境气体中进行涂布液之涂布。