压印制程方法

摘要

一种压印制程方法。在此方法中，首先，提供一硬质基板，其中硬质基板系至少包含第一表面以及相对于第一表面之第二表面。接着，提供一缓冲层，其中缓冲层系设置于第二表面上。然后，形成一高分子材料层于第一表面上。之后，执行一压印步骤，以形成一压印图案于高分子材料层上。接着，形成一金属层于第一表面上。之后，移除高分子材料层。