微奈米凹陷区之制造方法

摘要

一种微奈米凹陷区之制造方法，主要系利用微影制程初步制作凹陷区后，再涂布可硬化材料于凹陷区，藉由控制加温位置及工作温度之加温手段，使上述可硬化材料于凹槽之预设位置硬化而缩小凹陷区之空隙，最后去除可硬化材料之未硬化部份而获得微奈米凹陷区者。

主权项

1.一种微奈米凹陷区之制造方法,主要系利用微影 制程初步制作凹陷区后,再涂布可硬化材料Su-8于 凹陷区,藉由加温,使上述可硬化材料Su-8于凹槽之 预设位置硬化而缩小凹陷区之空隙,最后去除可硬 化材料Su-8未硬化部份而获得微奈米凹陷区者。 图式简单说明: 第一图系本发明之实施示意图。 第二图系加温之工作温度与孔径之关系图。