| 主权项 |
1.一种化学机械研磨垫,其包含一具有一研磨表面 之研磨基板及一融合至该研磨基板之光透射元件, 当以一平行于该研磨表面之平面切割该光透射元 件时,该光透射元件之截面形态为椭圆形,其中以 其短直径除其长直径而获得之値大于1。 2.如请求项1之化学机械研磨垫,其中该光透射元件 包含一非水溶性材料及分散于该非水溶性材料中 之水溶性粒子。 3.如请求项2之化学机械研磨垫,其中该非水溶性材 料之至少一部分为一交联聚合物。 4.如请求项3之化学机械研磨垫,其中该交联聚合物 为1,2-聚丁二烯。 5.一种用于制造如请求项1之化学机械研磨垫之方 法,其包含在一用于嵌入成型之金属模具中将该研 磨基板融合至该光透射元件。 6.一种用于使用如请求项1之化学机械研磨垫来化 学机械研磨一半导体晶圆之方法,其包含使用一光 学终点侦测器透过如请求项1之化学机械研磨垫之 该光透射元件来侦测化学机械研磨之终点。 图式简单说明: 图1为光透射元件之实例的平面图; 图2为光透射元件之另一实例的平面图; 图3为本发明之研磨垫之实例的部分剖视图; 图4为本发明之研磨垫之另一实例的部分剖视图; 图5为本发明之研磨垫之实例的平面图; 图6为本发明之研磨垫之另一实例的平面图; 图7为用于模制研磨垫之金属模具之实例的部分剖 视图; 图8为用于模制研磨垫之金属模具之另一实例的部 分剖视图; 图9为用于模制研磨垫之金属模具之另一实例的部 分剖视图; 图10为用于阐释使用本发明之研磨垫之研磨方法 的图;及 图11为待研磨之材料之实例的剖视图。 |
