发明名称 ARRANGEMENT FOR PRODUCIING A SHARP-EDGED ILLUMINATION LINE AND ARRANGEMENT FOR INCREASING THE ASYMMETRY OF THE RADIATION BEAM PARAMETER PRODUCT
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Anordnung (100) zum Erhöhen der Asymmetrie der Strahldivergenz eines sich in einer Ausbreitungsrichtung (z) ausbreitenden Einfallsstrahlbündels (2), wobei das Einfallsstrahlbündel (2) senkrecht zu der Ausbreitungsrichtung (z) eine räumliche Ausdehnung in einer ersten Richtung (y) und eine räumliche Ausdehnung in einer zu der Ausbreitungsrichtung (z) senkrechten und einer zu der ersten Richtung (y) senkrechten zweiten Richtung (x) aufweist, wobei das Einfallsstrahlbündel (2) eine Strahldivergenz in der zweiten Richtung (x) und eine gleich große oder kleinere Strahldivergenz in der ersten Richtung (y) aufweist. Erfindungsgemäß ist eine Anordnung zur Transformation des Einfallsstrahlbündels (2) vorgesehen, welche eine Strahlunterteileinrichtung (3) und eine Umsortiereinrichtung (6, 8) umfasst. Die Strahlunterteileinrichtung vorgesehen, um das Einfallsstrahlbündel (2) in der ersten Richtung (y) in wenigstens zwei Teilstrahlbündel (4a, 4b, 4c, 4d) derart zu unterteilen, dass jedes Teilstrahlbündel (4a, 4b, 4c, 4d) eine entsprechend der Teilung reduzierte räumliche Ausdehnung in der ersten Richtung (y) und eine räumliche Ausdehnung in der zweiten Richtung (x) aufweist. Die Umsortiereinrichtung (6, 8) dient dem Zweck, wenigstens zwei der Teilstrahlbündel (4a, 4b, 4c, 4d) derart umzusortieren, dass die umsortierten Teilstrahlbündel (9a, 9b, 9c, 9d) mit ihren jeweiligen räumlichen Ausdehnungen in der ersten Richtung (y) nebeneinander oder wenigstens teilweise überlappend angeordnet sind.</p>
申请公布号 WO2007122060(A1) 申请公布日期 2007.11.01
申请号 WO2007EP53029 申请日期 2007.03.29
申请人 CARL ZEISS LASER OPTICS GMBH;MUENZ, HOLGER 发明人 MUENZ, HOLGER
分类号 G02B27/09;G02B27/48;H01S3/00 主分类号 G02B27/09
代理机构 代理人
主权项
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