发明名称
摘要
申请公布号 JP2007531258(A) 申请公布日期 2007.11.01
申请号 JP20070504451 申请日期 2005.03.25
申请人 发明人
分类号 H01L29/786;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/165;H01L29/205;H01L29/26;H01L29/78 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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