OSCILLATING, DEFLECTABLE MICROMECHANICAL ELEMENT AND METHOD FOR USE THEREOF

摘要

Die Erfindung betrifft oszillierend auslenkbare mikromechanische Element sowie ein Verfahren zum Betreiben solcher Elemente. Es ist dabei Aufgabe der Erfindung die mikromechanischen Elemente bei der oszillierenden Auslenkung unter Berücksichtigung der jeweiligen mechanischen Resonanzfrequenz stabil und einfach betreiben zu können. An erfindungsgemäßen Elementen ist mindestens ein Federelement vorhanden mit dem es gehalten ist. Es wird zwischen zwei Umkehrpunkten unter Einsatz einer elektrischen Wechselspannung ausgelenkt. Das eine oder mehrere Federelement(e) weist/weisen eine nicht lineare Federkennlinie auf, so dass sich eine in Abhängigkeit der jeweiligen Auslenkung eine veränderte mechanische Resonanzfrequenz ergibt.