发明名称 PLASMA EXCITATION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100771972(B1) 申请公布日期 2007.11.01
申请号 KR20050128860 申请日期 2005.12.23
申请人 发明人
分类号 H01J37/32;H05H1/24 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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