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发明名称 SUBSTRATE POLISHING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1641597(A4) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20040732769 申请日期 2004.05.13
申请人 发明人
分类号 B24B49/12;B24B37/00;B24B37/04;B24D13/14;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24B49/12
代理机构 代理人
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