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发明名称 Evacuation system
摘要
申请公布号 EP1719551(A3) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20060015405 申请日期 1997.05.22
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 NOJI, NOBUHARU;NIIMURA, YASUHIRO;OGAMINO, HIROAKI;HATTORI, HIROSHI;NOMURA, NORIHIKO;SUGIURA, TETSURO;MATSUOKA, YUJI
分类号 B01D8/00;B01D53/00;B01D5/00;B01D7/02;C23C16/44;C23C16/56;F25B21/02;F25J1/02 主分类号 B01D8/00
代理机构 代理人
主权项
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