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发明名称 SCHEIBENTRÄGER UND VERFAHREN ZUR BEFÖRDERUNG VON SCHEIBEN MIT MINIMALEM KONTAKT
摘要
申请公布号 DE69934408(T2) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 DE1999634408T 申请日期 1999.07.08
申请人 ASM AMERICA INC. 发明人 CARR, R.;JACOBSON, T.;KUSBEL, F.;ROUNDY, S.;AGGARWAL, K.;RAAIJMAKERS, IVO;LENZ, ROD;RAJBHARTI, NILESH
分类号 B65G49/07;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/687 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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