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发明名称
摘要
申请公布号
JP4002456(B2)
申请公布日期
2007.10.31
申请号
JP20020081867
申请日期
2002.03.22
申请人
发明人
分类号
H01L23/02;H01S5/022
主分类号
H01L23/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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