| 发明名称 | 流体喷射装置及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种流体喷射装置及其制作方法。在具体实例中，在具有凹槽的第一衬底上形成蚀刻停止层，接着再将该蚀刻停止层接合于第二衬底表面上，以在该蚀刻停止层与该第二衬底间形成腔室，然后，移除该第一衬底。移除该第一衬底后，在该第二衬底上形成外框以构成该流体喷射装置。其中，还可在该腔室内及该蚀刻停止层上形成第一氧化层、第二氧化层以及第三氧化层结构。藉此流体喷射装置可增加绝热及降低热串扰(Thermal Crosstalk)效应，进而提升其热使用率及喷墨效果。 | ||
| 申请公布号 | CN101062612A | 申请公布日期 | 2007.10.31 |
| 申请号 | CN200610077356.0 | 申请日期 | 2006.04.29 |
| 申请人 | 明基电通股份有限公司 | 发明人 | 庄文宾;周忠诚 |
| 分类号 | B41J2/14(2006.01);B41J2/16(2006.01);B41J2/05(2006.01) | 主分类号 | B41J2/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种流体喷射装置的制作方法，包括：提供具有凹槽的第一衬底；在该凹槽与该第一衬底表面保形地形成蚀刻停止层；将第二衬底接合于该蚀刻停止层上，使得该第二衬底与该蚀刻停止层之间的该凹槽之中形成腔室；以及去除该第一衬底。 | ||
| 地址 | 中国台湾桃园县 | ||