光学传感器和以光学方式检查表面的方法

摘要

采用用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有：激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)、扫描镜(2)、远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束；b)探测单元(11)，具有：检测光学系统(8)、中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近、高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。应用/产品：光学检查表面的检验设备。

主权项

1.用于探测光滑表面上的点状、线状或者面状缺陷的光学传感器，所述光学传感器包含：a)远心激光扫描仪(12)，具有-激光器(1)，用于几乎垂直地照射一个光滑的表面(5)，-扫描镜(2)，-远心的光学系统(4)，用于引导照射光束和检测光束，b)探测单元(11)，具有-检测光学系统(8)，-中心光阑(9)，所述中心光阑沿向着远心的激光扫描仪(4)的方向定位在所述检测光学系统的附近，-高灵敏度的光电倍增器(6)，用于探测从光滑表面(5)上的缺陷发出的散射光，-前置于所述光电倍增器(6)的狭缝光阑(7)。