多信道可调光衰减器

摘要

本实用新型涉及集成光学技术领域。它提出了一种多信道可调光衰减器，是基于平面光波导技术，采用半导体硅基沉积二氧化硅和金属薄膜溅射法的多层平面晶圆加工制作工艺和技术。可调光衰减器的光路由马赫－曾德干涉仪的上臂调节支路和下臂直通构支路构成；置于调节支路上面的加热电路由高电导率的导电层和高电阻率的加热层构成，通过电子控制可调电源，调节温度，以改变输出光信号的强度。深度蚀刻的隔热槽结构，可提高衰减器的调节深度，减小多信道可调光衰减器的串扰。该光器件不但结构紧凑、集成度高、体积小，重量轻，性能稳定可靠；而且制作工艺成熟、稳定、适合大批量生产、生产效率高、成本低，可广泛应用于光通信网络系统和光学仪器设备。

主权项

1.多信道可调光衰减器，由多层光电晶圆结构组成，包括硅基、衬垫、波导光芯、覆盖包层、加热层、导电层、保护层和深度蚀刻层，其特征在于：硅基晶圆上沉积折射率及厚度不同的二氧化硅衬垫、波导光芯和覆盖包层，构成平面光波导层；平面光波导层的光路调节支路上面溅射金属薄膜加热层和导电层；在金属薄膜上面沉积防金属氧化的保护层；光路调节支路和信道间蚀刻深度隔热槽；可调光衰减器的光路由马赫-曾德干涉仪单元构成，加热电路由电子控制的可调电源、高电导率的金属导电薄膜电路、高电阻率的金属加热薄膜片以及电路接口组成。