发明名称 |
非易失性存储器的抹除方法 |
摘要 |
一种非易失性存储器的抹除方法,此存储器具备有第一导电型基底、设置于第一导电型基底中的第二导电型阱区、设置于第二导电型阱区上的第一导电型阱区、及设置于第一导电型基底上的存储单元,此存储单元包含电荷俘获层与栅极。此抹除方法包括:于栅极施加第一电压,且于第一导电型基底施加第二电压,使第二导电型阱区为浮置,其中第二电压足以产生基底热空穴效应,第一电压可使空穴注入电荷俘获层。 |
申请公布号 |
CN101064313A |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
申请号 |
CN200610074880.2 |
申请日期 |
2006.04.25 |
申请人 |
力晶半导体股份有限公司 |
发明人 |
郭兆玮;赵志明;黄汉屏 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/78(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;侯宇 |
主权项 |
1、一种非易失性存储器的抹除方法,该存储器包括第一导电型基底、设置于该第一导电型基底中的第二导电型阱区、设置于该第二导电型阱区上的第一导电型阱区、及设置于该第一导电型基底上的存储单元,该存储单元包含电荷俘获层与栅极,该方法包括:于该栅极施加第一电压,且于该第一导电型基底施加第二电压,使该第二导电型阱区为浮置,其中该第二电压足以产生基底热空穴效应,该第一电压可使空穴注入该电荷俘获层。 |
地址 |
中国台湾新竹市 |