| 发明名称 |
Plasma treatment apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1398820(B1) |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
| 申请号 |
EP20030291995 |
申请日期 |
2003.08.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
YOSHIDA, KAZUTO |
| 分类号 |
C23C16/455;H05H1/46;B01J19/08;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/507;H01J37/32;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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