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发明名称 THERMAL PROCESSING SYSTEM WITH CROSS FLOW INJECTION SYSTEM WITH ROTATABLE INJECTORS
摘要
申请公布号 EP1676294(A4) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20040784778 申请日期 2004.09.22
申请人 AVIZA TECHNOLOGY, INC. 发明人 DU BOIS, DALE, R.;PORTER, COLE;HERRING, ROBERT, B.
分类号 C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52;C23F1/00;H01L 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
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