发明名称 激光光斑实时监测与光路自动准直的方法和装置
摘要 一种激光光斑实时监测与光路自动准直的方法和装置,该方法是利用单个CCD摄像头采集激光光斑,压电陶瓷电动镜架自动准直光路,利用计算机进行光斑处理和实时监控。本发明装置监测光斑的频率约10Hz,反馈控制频率约1Hz,完全可以降低和消除抖动周期在1秒以上的光斑飘动,准直后的激光空间稳定性<0.5微弧度,本发明具有结构简化、精度高、速度快和效率好的特点。
申请公布号 CN101063751A 申请公布日期 2007.10.31
申请号 CN200710039224.3 申请日期 2007.04.06
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 尉鹏飞;刘军;李小芳;陈晓伟;刘鹏;曾志男;李儒新
分类号 G02B27/30(2006.01);G05B19/048(2006.01);G05D3/20(2006.01) 主分类号 G02B27/30(2006.01)
代理机构 上海新天专利代理有限公司 代理人 张泽纯
主权项 1、一种激光光斑实时监测与光路自动准直的方法,其特征在于利用单个CCD摄像头采集激光光斑,利用压电陶瓷电动镜架自动准直光路,利用计算机进行光斑处理和实时监控。
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