| 发明名称 | 发光二极管多层金属一次电极的制造方法及其制造装置 | ||
| 摘要 | 本发明为一种多层金属一次电极的制造方法及其制造装置，其将磊晶片清洗后放入制造装置内，以进行多层金属电极的制造，该制造装置至少包含：一承载体、一磁性组件、一载具、一磁性光罩以及复数个金属源，以将磊晶片由载具承载利用磁性光罩所设的接触窗，使复数个金属源以金属镀膜沉积方式，透过接触窗的沉积即可形成多层金属电极，本发明无需将使用知的黄光微影制程及化学金属蚀刻制程，即可简单快速地完成制造，并兼顾优良的品质。 | ||
| 申请公布号 | CN101064352A | 申请公布日期 | 2007.10.31 |
| 申请号 | CN200610074543.3 | 申请日期 | 2006.04.27 |
| 申请人 | 曜富科技股份有限公司 | 发明人 | 廖奇德 |
| 分类号 | H01L33/00(2006.01);H01L21/28(2006.01);C23C14/04(2006.01) | 主分类号 | H01L33/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种多层金属一次电极的制造方法，其特征在于，至少包含以下步骤：a、将磊晶片清洗；b、将磊晶片放入一制造装置的载具中，并于晶片上方设有一具有接触窗的磁性光罩；c、以由装有不同金属材料的复数金属源，利用金属镀膜沉积方法，依序将金属材料透过接触窗，在磊晶片上堆栈形成多层金属电极；以及d、移除该制造装置。 | ||
| 地址 | 台湾省苗栗县竹南镇科义路38号 | ||