| 发明名称 |
Verfahren zum formgebenden und/oder trennenden Bearbeiten von fotoelektrisch wirksamen Halbleiterkristallen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1193335(B) |
申请公布日期 |
1965.05.20 |
| 申请号 |
DE1954S040568 |
申请日期 |
1954.08.25 |
| 申请人 |
SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
HENKER DR. HEINZ |
| 分类号 |
C23F1/02;C25F3/12;H01L21/306;H01L21/3063 |
主分类号 |
C23F1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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