发明名称 用于光学芯片与芯片互连的连接器连接工艺
摘要 一种光学组件(100),包括光电元件(104)和具有沟槽(214)的衬底(102),该沟槽(214)延伸到衬底(102)的边缘,波导阵列(114)位于沟槽(214)内,波导阵列(114)延伸到衬底(102)的边缘,盖子(216)连接到衬底(102)的边缘(116)或其附近,并横跨波导阵列(114)的宽度,盖子(116)包括凹部(404),具有底面(406),其中底面(406)与波导阵列(114)的表面(704)直接接触。盖子(116)和衬底(102)构成连接器(118),用于将光学组件(100)光学连接到其它部件。
申请公布号 CN101065695A 申请公布日期 2007.10.31
申请号 CN200580033326.3 申请日期 2005.09.29
申请人 英特尔公司 发明人 S·托尔;D·卢;H·布劳尼施
分类号 G02B6/30(2006.01);G02B6/36(2006.01);G02B6/42(2006.01) 主分类号 G02B6/30(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 王庆海;梁永
主权项 1、一种设备,包括;衬底,在其中具有沟槽,沟槽延伸到衬底的边缘;位于沟槽内的波导阵列,该波导阵列延伸到衬底的边缘;和套圈,连接在衬底的边缘或其附近,并横跨波导阵列的宽度,该套圈与波导阵列的表面直接接触。
地址 美国加利福尼亚州