发明名称 MICROSCOPE SYSTEM FOR TESTING SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 EP1849038(A2) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 EP20060719077 申请日期 2006.01.19
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 ANDREWS, PETER;HESS, DAVID;NEW, ROBERT
分类号 G03B17/48 主分类号 G03B17/48
代理机构 代理人
主权项
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