碳化硅软着陆装载机构

摘要

一种碳化硅软着陆装载机构，为用于卧式等离子增强化学汽相淀积设备中基片进出反应室的自动送取片装置，它包括装有两条水平导轨的基板，水平导轨上装有可沿该水平导轨往复移动的水平滑台，水平滑台装有两条竖向导轨，而该竖向导轨上装有可沿该竖向导轨往复移动的竖向滑台，横臂的一端同竖向滑台固定连接而另一端装有盒盖箱，该盒盖箱中设有下盒盖和上盒盖且该两盒盖之间有主压力杆连接腔，主压力杆的一端安装在所述主压力杆连接腔中，下盒盖和上盒盖用螺钉连接并由此压紧主压力杆，主压力杆的两侧分别固定有碳化硅杆。它能将石墨舟送进反应室并取出；整个过程，石墨舟可平稳前进、上升、下降及后退，实现石墨舟与石英反应室内壁软接触。

主权项

1、一种碳化硅软着陆装载机构，其特征是，它包括其一侧装有上、下两条水平导轨(3、31)的基板(1)，所述水平导轨(3、31)上装有可在相应驱动机构驱动下沿该水平导轨往复移动的水平滑台(8)，所述水平滑台(8)一侧装有左、右两条竖向导轨(5、51)，而该竖向导轨(5、51)上装有可在相应驱动机构驱动下沿该竖向导轨往复移动的竖向滑台(11)，横臂(14)的一端同所述竖向滑台(11)固定连接而另一端装有盒盖箱(17)，该盒盖箱(17)中设有下盒盖和对应的上盒盖(18)且该两盒盖(18、19)之间有主压力杆连接腔(12)，主压力杆(21)的一端安装在所述主压力杆连接腔(12)中，所述下盒盖(19)和上盒盖(18)用螺钉连接并由此压紧主压力杆(21)的所述安装端，主压力杆(21)的两侧分别固定有碳化硅杆(22、23)。