发明名称 DUESENANORDNUNG ZUM AUFBRINGEN EINER FLUESSIGKEIT AUF EIN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE50308231(D1) 申请公布日期 2007.10.31
申请号 DE20035008231 申请日期 2003.07.10
申请人 STEAG HAMATECH AG;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHWERSENZ, ANATOL;SAULE, WERNER;NOERING, ANDREAS;DRESS, PETER;BUERGEL, CHRISTIAN;TSCHINKL, MARTIN;STROBL, MARLENE
分类号 G03D5/04;G03F7/30;B05B1/14;B05C5/00;H01L21/027 主分类号 G03D5/04
代理机构 代理人
主权项
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