发明名称 | 图像感测元件及其制作方法 | ||
摘要 | 一种图像感测元件,包括半导体基底、感光区位于半导体基底中、栅电极位于该感光区的一侧的半导体基底上、图案化介电层覆盖该栅电极以及该感光区,并暴露部分该栅电极,以及间隙壁,位于图案化介电层上并围绕栅电极。 | ||
申请公布号 | CN101064327A | 申请公布日期 | 2007.10.31 |
申请号 | CN200610077350.3 | 申请日期 | 2006.04.29 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 施俊吉 |
分类号 | H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) | 主分类号 | H01L27/146(2006.01) |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
主权项 | 1.一种图像感测元件,包括:半导体基底;感光区,位于该半导体基底中;栅电极,位于该感光区的一侧的该半导体基底上;图案化介电层,覆盖该栅电极以及该感光区,并暴露部分该栅电极;以及间隙壁,位于该图案化介电层上并围绕该栅电极。 | ||
地址 | 中国台湾新竹科学工业园区 |