发明名称 |
用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物和方法 |
摘要 |
本发明提供了一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物,该组合物包含:约10重量%~30重量%的胺化合物溶剂,该胺化合物溶剂包含链烷醇胺;约10重量%~80重量%的乙二醇类溶剂;约9.5重量%~79重量%的极性溶剂和约0.5重量%~10重量%的防腐蚀剂。 |
申请公布号 |
CN100346231C |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
申请号 |
CN200410076979.7 |
申请日期 |
2004.08.27 |
申请人 |
LG.菲利浦LCD有限公司;东进瑟弥侃株式会社 |
发明人 |
曹奎哲;蔡基成;权五楠;李坰默;黄龙燮;金圣培;长锡唱;尹锡壹 |
分类号 |
G03F7/42(2006.01);G02F1/136(2006.01);G02F1/133(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/42(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁香兰 |
主权项 |
1.一种用于除去与铜相容的抗蚀剂的组合物,其包含:10重量%~30重量%的链烷醇胺,其中,连接在所述链烷醇胺的氮原子上的两个氢原子由烷基完全取代或部分地取代;10重量%~80重量%的乙二醇类溶剂,所述乙二醇类溶剂的沸点高于180℃;9.5重量%~79重量%的极性溶剂;和0.5重量%~10重量%的防腐蚀剂。 |
地址 |
韩国首尔 |