| 发明名称 |
MORPHOLOGICAL TRACKING METHOD |
| 摘要 |
A morphological inspection method based on a comparison of real images-a real reference image and a real inspected image of an inspected object is disclosed. |
| 申请公布号 |
IL148828(A) |
申请公布日期 |
2007.10.31 |
| 申请号 |
IL20020148828 |
申请日期 |
2002.03.21 |
| 申请人 |
CAMTEK LTD.;MOTI YANUKA;RONI FLIESWASSER;BORIS DOLGIN |
发明人 |
MOTI YANUKA;RONI FLIESWASSER;BORIS DOLGIN |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/956;G06T1/00;G06T5/00;G06T5/30;G06T7/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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